ICP光谱仪的主要性能指标是检出限、短时间稳定性、长时间稳定性和仪器分辩率，测试这些指标需要几乎一整天的时间，好在这些指标在仪器安装调试时是必需要做的，考察仪器时，可以着重查看现有同类型仪器的实际验收报告，以证实所考察仪器的性能指标。需要说明的是，所有这些指标是以简单水溶液标准(1~10ppm)和空白溶液来测试并理论计算所得。因此，这些指标与实际分析时的性能往往有较大的差距，因为实际样品中会存在大量的基体，而产生一定的干扰和基体效应，人们期望的是在好的分辩率下获得好的灵敏度和稳定性。因此考察仪器时，除了要关心仪器的“表观”指标外，更应重视仪器在实际样品分析中所表现的真实性能。考察仪器时，通常可选用能反映用户实际样品情况的某些标准样品来进行考核，考核样品应能尽量展现仪器的性能：既有微量、痕量元素(特别是远紫外谱线P、S)——以反映仪器的实际检出限和分辩率;又有主量元素——以反映全谱任意选择的灵活性、线性和稳定性。例如铜金矿、铜合金、合金钢等国家标样。

　　电感耦合等离子体(ICP)发射光谱法是以一种高效的等离子体作为激发光源进行原子发射光谱分析的方法，可同时测定多种元素。适用于各类样品中从痕量到常量的元素分析。

　　分析特点：

　　分析速度快，能在一分钟内同时完成样品中多元素分析

　　大多数元素的检测限在ppb级

　　线性范围宽达5－6个数量级

　　精密度相当好

　　样品消耗少，仅消耗约2毫升试液

　　配合自动进样器，可完成大批量的过夜无人分析

　　进样系统：

　　方便易用---人性化设计的大进样室

　　•一个3通道、12转子的蠕动泵，带有独特的排液监测传感器，提供顺畅、低噪音的信号和安全的操作。

　　•光学排液监测传感器可监测来自雾化室的排液情况，在发现不正常排液的情况下可自动熄灭等离子体炬焰。

　　•适用于一系列自动进样器，从而可在无人照看的条件下自动分析。

　　•270℃人体工学设计大进样室，全打开式门，改进了使用者的操作方便性。

　　•清晰地观察等离子体和进样状态，简化最佳化过程。

　　•方便操作进样——简化炬管更换操作

　　•组合式进样系统易于重新配置和维护

　　新设计可拆卸式EMT炬管（快速安装）

　　•自动气管连接——杜绝误插气路烧毁炬管的意外

　　•卡口式设计——自动准直，无需溶液炬管准直

　　•螺纹式中心管座锁定——简化中心管的更换及维护操作，可在等离子体点燃条件下更换中心管

　　•可拆卸设计——可部份更换，有效地降低炬管的使用成本

　　•增强基质耐受(EMT)炬管设计改善了高基质样品的操作。

　　观测方式：

　　高灵敏度---双向观测方式

　　•水平观测：高灵敏度，低检出限

　　•垂直观测：减少基体干扰，拓展线性范围

　　尾焰去除技术：

　　耐高温SiN接口结合CFD设计氩气导流技术

　　•有效去除尾焰

　　•CFD辅助优化设计，导流技术，排除热量

　　•保证了远紫处谱线的灵敏度